产品介绍
inficon 375-001 CDG025D 是一款具备温度补偿功能的电容压力计，专为在恶劣制造环境中实现稳定测量而设计。其核心组件采用超纯陶瓷传感器，具备抗腐蚀特性，能在包括大气压冲击在内的数百万次压力循环中保持良好的零点稳定性，延长设备的使用寿命。独特的传感器屏蔽设计可减少过程污染对测量的影响，配合坚固的机械结构与先进的数字电子元件，提升了设备的电磁兼容性、长期稳定性及温度补偿效果。该压力计在开机后能快速达到稳定状态，且从大气压暴露中恢复的速度较快，适应工业场景中频繁启停或压力波动的情况。
功能特点
该压力计的全量程为 1000 Torr，可满足中高压力范围的测量需求。凭借温度补偿设计，其在不同温度环境下的测量精度得以保障，减少了温度变化对结果的影响。设备配备一键调零功能，操作简便，便于用户快速校准零点，确保测量基准的准确性。数字电子元件的应用不仅优化了整体性能，还增强了设备对电磁干扰的抵抗能力，适合在复杂的工业电磁环境中使用。抗腐蚀的陶瓷传感器与防污染设计，使其能在存在腐蚀性介质或粉尘的环境中保持稳定运行，降低因污染导致的性能衰减风险。此外，其宽范围电源供应设计提升了在不同供电条件下的适用性，为多样化的工业场景提供支持。
选型指南
选型时，首先需明确所需的压力测量范围。inficon 375-001 CDG025D 的全量程为 1000 Torr，若实际应用中压力范围与此不符，可参考同系列其他型号，选择更贴合需求的量程（如 100 Torr、10 Torr 等）。其次，需根据设备连接需求选择法兰类型，该型号采用 DN 16 ISO-KF 法兰，若系统接口为 1/2 英寸管、DN 16 CF-R 或 8 VCR，则需对应选择同系列中其他法兰类型的型号。
技术参数
inficon 375-001 CDG025D 的全量程为 1000 Torr，对应 1333 mbar（133322 Pascal）。设备具备温度补偿功能，能在一定温度范围内减少环境温度对测量结果的影响。在 25℃环境温度下，经过两小时运行后，其非线性、滞后性和重复性误差控制在一定范围内，确保测量精度。设备采用 DN 16 ISO-KF 法兰接口，适应相应的管路连接需求。宽范围电源供应设计使其能在不同供电条件下稳定工作，数字电子元件的集成提升了整体运行的稳定性与抗干扰能力。
产品尺寸
该压力计的尺寸设计兼顾了测量性能与安装便利性，整体结构紧凑，适合在空间有限的工业设备中安装。
应用领域

inficon 375-001 CDG025D 电容压力计适用于多种工业场景的压力测量。在半导体制造中，可用于刻蚀（Etch）、化学气相沉积（CVD）、物理气相沉积（PVD）、原子层沉积（ALD）等设备的压力监测；在数据存储与显示设备制造过程中，为相关真空环节提供压力测量支持；同时，也可应用于工业真空设备及其他需要高精度压力测量的场景，为生产过程的稳定运行提供数据依据。