产品介绍  
SQ273-13103 是德国 First Sensor 推出的一款硅基 MEMS 压阻式压力传感芯片，基于公司自有的 STARe 技术平台，将惠斯通电桥、温度补偿电路与微型封装集成于一体。芯片尺寸约 1.25 mm × 1.25 mm × 0.8 mm，采用 DIP-8 金属引脚外壳，可直接焊接到 PCB 或通过柔性电缆引出。器件出厂前已在洁净室内完成激光修调，提供模拟电压输出或 I²C 数字接口两种版本，可测量表压、差压或绝压，典型量程 5 inH₂O 至 30 psi，具体分档可按订单定制。SQ273-13103 主要面向医疗、工业及环境监控设备，尤其适合空间受限、要求长期漂移小、响应快的场景。

功能特点  
芯片内部为硅-玻璃双层结构，上层硅片通过各向异性腐蚀形成薄膜，薄膜上扩散四个压敏电阻组成惠斯通电桥；玻璃基板形成参考腔并支撑焊盘，整体通过阳极键合实现晶圆级密封。电桥输出经片上 EEPROM 存储的系数进行一阶温度补偿，零点和灵敏度温漂分别控制在 ±0.05 %FS/°C 与 ±0.15 %FS/°C 以内。模拟版本在 5 V 供电时满量程输出约 100 mV，数字版本通过 I²C 提供 16 位压力与 11 位温度数据。芯片响应时间（10 %→90 % 阶跃）小于 1 ms，可满足高频动态测量。外壳为镀金铜合金，与硅芯片之间通过金丝球焊连接，气密性满足 MIL-STD-883 方法 1014 检漏要求。器件不含运动部件，抗震 40 g，适用于振动环境。

选型指南  
设计者在选型时需先确认压力类型与量程：SQ273-13103 提供差压、表压与绝压三种版本，差压型需保证参考端与测量端介质一致；量程若处于 0–5 inH₂O 微压段，应选低压分档；若系统最大压力可能超出 30 psi，则需选更高量程型号或加机械限压装置。电源方面，模拟输出版供电 2 V–10 V，数字版 3 V–5.5 V，电源纹波建议小于 50 mV。介质需为非腐蚀性、非离子型干燥气体；若存在水汽或油雾，须在前端加过滤器或干燥罐。安装时芯片需垂直于重力方向以减少零点漂移；若 PCB 空间紧张，可要求裸片供货。对于医疗应用，可订购 EN ISO 13485 批次，附带可追溯报告。

技术参数  
量程：5 inH₂O 至 30 psi（可定制）  
精度：±0.25 %FS（典型）  
零点温漂：±0.05 %FS/°C  
灵敏度温漂：±0.15 %FS/°C  
工作温度：−40 °C 至 +85 °C  
补偿温度：0 °C 至 +50 °C（可扩展至 70 °C）  
储存温度：−40 °C 至 +125 °C  
供电电压：模拟 2 V–10 V，数字 3 V–5.5 V  
输出：模拟 100 mV（典型），或 I²C 16-bit 数字  
响应时间：< 1 ms  
桥阻：约 5 kΩ  
过载压力：2 倍额定压力  
爆破压力：3 倍额定压力  
封装：DIP-8 金属壳，引脚间距 2.54 mm  
重量：约 0.3 g

产品尺寸  
芯片本体 1.25 mm × 1.25 mm × 0.8 mm，DIP-8 外壳整体 9.5 mm × 6.4 mm × 4.2 mm，引脚长 3.6 mm，可直插或折弯 SMT 安装。顶部激光标记型号与量程代码，便于目视识别。

应用领域  
SQ273-13103 广泛用于医疗设备，如呼吸机、麻醉机、气腹机、血液透析机，用于监测气道、血路或灌注压力；在工业自动化中，可用于洁净室差压、过滤器堵塞检测、燃气压力监控；实验室与楼宇自动化领域，也将其用于微压风速、液位换算等场景。